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石蜡熔融沉积的线宽试验优化设计
【作者】 张金松 郑凯特 渠国洋
【关键词】 石蜡 熔融沉积 线宽 试验优化设计
【摘要】设计了气动式的石蜡熔融沉积装置,采用正交实验的方法,研究温度t、气压P、喷嘴直径d、喷嘴距离基板高度h和基板移动速度v等工艺参数对熔融石蜡沉积线宽的影响.实验结果分析表明:工艺参数对线宽影响的显著性由大到小依次是喷嘴直径、气压和基板移动速度,最优参数组合为t =80℃,P=0.2 MPa,d=0.4mm,v=5.4 mm/s和h=0.3 mm;单因素验证试验证实了正交试验结果的正确性.
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